利用SAR卫星具有的全天时全天候工作、广域覆盖、高精度地表测量等优势，可以有效地获取地球表面大范围变形信息，广泛应用于地震、火山、地面沉降、基础设施监测等。卫星InSAR技术适合大范围地表及建筑物沉降普查，再结合无人机技术实现重点监测区域的精细化三维变形监测。

影像配准作为InSAR数据处理流程的第一步，配准必须解决数据处理自动化的问题，而且还要保证配的可靠性、精度和运算效率。然后选出主影像，并与配准后的时间序列SAR影像进行干涉处理，生成干涉图集和相干图集，然后利用外部DEM去除地形相位，生成时间序列差分干涉图集。

根据实验区内收集的数据情况、大气状况、变形场的变形特征和短时间序列影像集的干涉对组合策略，构建函数模型和随机模型，对选取的候选点构建稀疏格网。完成了模型的改正后，对所有的相干点目标重新构建差分网络，在时间序列干涉集上对所有的相干点应用最小二乘估计器进行时间维的相位解缠，得到所有相干点上的未知参数。

采用时空滤波的手段分离并去除各种误差相位后，对其结果进行精化处理，可以得到更精确的变形相位，最后进行变形相位到高程的转换，输出相干点目标的变形速率等。